&400光刻机属于第二代光刻机，是Mota800的升级版产品。
可以实现最小400nm的工艺节点，当然，通过特殊的工艺制程的话，可以生产更低节点工艺的芯片。
只不过成本上面，可能会是稍稍贵了那么些。
光刻机最为重要的，就是光源。
现采用的光源都属于深紫外光。
第一代光刻机采用的波长436光源，现的光刻机采用波长365光源。
下一代光源也已经确定了，是波长248nm的KrF光源。
第四代的时候，采用波长193nm的ArF光源。
但是，已经有一个新的概念被提了出来，那就是极紫外光刻机。
这可能很多人都不熟悉，换上一个说法：EUV光刻机。每一次光源的改进，都是能够显着提升光刻机所能实现的最小工艺节点。
只不过极紫外光刻机这个新概念被提了出来，但是却没有企业往这个上面投钱。
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