很简单的原因，极紫外光想要作为光源用到光刻上面，技术难度实有着些过于的高了些。
反正，这属于一个概念性的东西。
市场上面的光刻机，还依旧的能够满足需求，大家对于这极紫外光刻机并不急着要。
实际上，Asml1999年的时候才开始进行EUV光刻机的研发工作。
计划是通过五年时间，2004年的时候，就推出EUV光刻机产品。
但是到了2010年才是搞出第一台EUV光刻机原型机，2016年才是向下游客户正式供货。
凭借着EUV光刻机，Asml也是一举成为全球光刻机领域当之愧的最大巨头。
光源对于光刻机的重要性，实过于的重要了一些。
陈怀庆也是看过一些报道，说华国极紫外光源上面是有着突破的。
也不知道具体情况到底如何。
网络上面的新闻，这很多都只是看上一个乐就行。
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