离子注入的时候，又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。
掺杂之时要乙硼烷、砷化氢，以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之气。
除此之外，还有很多工艺环节，都还需要相应的特种气体。
林林总总加一起。
要想生产高性能的合格芯片，竟然需要一百多种特种气体。
需要的特种气体种类多，都还不算什么难事。
真正让人头疼的，是这些特种气体的纯度要求太高了。
用于普通工业生产的大宗气体，纯度只要达到了99.99%，就已经很不错了。
而用于电子科技产品的呢？
哪怕只是生产6寸以下、不低于0.25微米线宽的晶体管和晶闸管，纯度都要百分之九十九点九九九。
而要生产大规模集成电路、特殊电子元器件、纳米级线宽大尺寸芯片，需要的纯度，必须高于百分之九十九点九九九九。
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