特种气体的纯度越高，越有利于芯片加工生产，可以大大提高芯片的良品率。
可是纯度已经很高的气体，再想进一步的提纯，难度实在是太大了。
就像一张满分是一百的试卷。
从六十分及格，努力学习考到九十分并不难，因为提升空间很大。
再努努力，从九十分提升到九十五分，也并非不可能。
但九十五分以上，想一题不错的考个满分，就真是太难了。
什么电解法、化学法、吸附法、精馏法等等，各种方式方法看似不少。
但不同的方法，需要不同的设备和工艺，里面的门道实在是太多了。
就像同样是电解法，需要的直流电应该多大电流？多高电压？作用多长时间才能确保氧化还原最佳？
而用化学法提纯六氟化钨、三氯氢硅等，又需要用什么样的催化剂、在怎样的容器中进行反应？
而且吸附法制备六氟丁二烯、高纯砷烷等气体，吸附装置、吸附材料、吹扫设备等等，也需要很考验技术功底。
内容未完，下一页继续阅读